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地址:江苏省江阴市滨江西路1018号 邮编:214444 电话:0510-86631330 86091158 总机:0510-86637666 86638666 传真:0510-86631173 |
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产品介绍: HY系列自动晶体生长炉是采用直拉法生长单晶硅材料的专用设备。 其主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。
1、主机部分: 机架,双立柱 双层水冷式结构炉体 水冷式阀座 晶体提升及旋转机构 坩埚提升及旋转机构 氩气系统 真空系统及自动炉压检测控制 水冷系统及多种安全保障装置 留有二次加料口 2、加热器电源: 全数字水冷电源装置采用CPU独立控制。可增加LC电网谐波补偿装置(选购)。 3、计算机控制系统: 采用PLC和上位工业平板电脑PC机,配备大屏幕触摸式人机界面和CCD测径系统ADC,可实现从抽真空–检漏–炉压控制–熔料–稳定–溶接–引晶–放肩–转肩–等径–收尾–停炉全过程自动控制。 | |
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