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TDR-HY系列
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产品介绍:
HY系列自动晶体生长炉是采用直拉法生长单晶硅材料的专用设备。 其主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。
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1、主机部分:
机架,双立柱 
双层水冷式结构炉体
水冷式阀座
晶体提升及旋转机构
坩埚提升及旋转机构
氩气系统
真空系统及自动炉压检测控制
水冷系统及多种安全保障装置
留有二次加料口
2、加热器电源:
全数字水冷电源装置采用CPU独立控制。可增加LC电网谐波补偿装置(选购)。
3、计算机控制系统:
采用PLC和上位工业平板电脑PC机,配备大屏幕触摸式人机界面和CCD测径系统ADC,可实现从抽真空–检漏–炉压控制–熔料–稳定–溶接–引晶–放肩–转肩–等径–收尾–停炉全过程自动控制。
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