一、设备名称：
TDR85单晶硅炉　 TDR95单晶硅炉
二、设备的功能概述：
　　TDR系列全自动晶体生长炉是采用直拉法生长单晶硅材料的专用设备。该设备集机械、电气控制、仪表、真空密封、高温压力容器等领域技术于一体，综合了国内外同类产品之优点，结构合理，配置了美国Rockwell Automation公司PLC控制系统及Dalsa公司高像素CCD影像视觉采集技术。抗干扰性好，可靠性高，维修方便。其自主研发的全自动控制技术填补了国内技术空白，技术水平处于国际先进水平。设备采用电脑控制系统和触摸式屏幕显示的直观形象的界面控制，系统运行平稳，可靠性高，拉晶工艺全过程直观显示，能实现从抽真空、检漏、炉压控制、熔料、稳定、溶接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉全过程的自动控制，生产无错位、等径度好的高质量单晶棒。单晶成晶率达76%以上。等晶功率在48KW以下，拉晶的成本很低，本设备配制高，关键件从日本及美国等引进，使用寿命长，维修率低，因此运行成本也低。TDR系列全自动晶体生长炉主要有主机、加热电源、计算机控制系统三大部分组成。
1.主机部分：
机架，双立柱。
双层水冷式结构炉体。
水冷式阀座。
晶体提升及旋转机构。
坩埚提升及旋转机构。
籽晶提拉和坩埚提升装置的水平调整装置。
氩气系统及配套件采用高品质的进口件。
高品质的真空系统，自动真空检漏及炉压控制。
水冷系统及过热保警装置。
炉压异常报警系统。
留有二次加料口。
2.加热器电源：
全水冷电源装置采用CPU独立控制，功率小，噪音低。
3.单晶炉计算机控制系统；
计算机控制系统软件（包括触摸屏人机界面操作显示控制软件与PLC拉晶过程控制软件）。
CCD测径系统ADC。
控制柜（包括触摸屏、PLC、UPS、直流伺服、电机调速器、传感器接口及加热器电源控制接口等硬件系统）。
操作台（工控机，监控软件等）。